大型集成電路生產(chǎn)用超純水設(shè)備工藝解析
文章作者：萊特萊德 發(fā)布時間：2022-08-10
- 大型集成電路生產(chǎn)用超純水設(shè)備顧名思義主要應(yīng)用于集成電路生產(chǎn)用水，該設(shè)備引進(jìn)國外進(jìn)口元件，結(jié)合國內(nèi)外制水經(jīng)驗(yàn)，選用先進(jìn)的反滲透技術(shù)和EDI技術(shù)相結(jié)合，有效去除水中的各種雜質(zhì)。大型集成電路生產(chǎn)用超純水設(shè)備具有出水水質(zhì)好，操作簡單，制水效果明顯等特點(diǎn)。
大型集成電路生產(chǎn)用超純水設(shè)備工藝
1、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光樹脂→精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
2、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光樹脂→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)(新工藝)
3、預(yù)處理→一級反滲透→加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))→中間水箱→第二級反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥17MΩ.CM)(新工藝)
4、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥15MΩ.CM)(新工藝)
5、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對象(≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
大型集成電路生產(chǎn)用超純水設(shè)備特點(diǎn)
1、整體化程度高、易于擴(kuò)展、增加膜數(shù)量即可增加處理量。
2、自動化程度高，遇故障立即自停，具有自動保護(hù)功能。
3、膜組件為復(fù)合膜卷制而成，表現(xiàn)出更高的溶質(zhì)分離率和透過速率。
4、能耗低、水利用率高、運(yùn)行成本低。
5、結(jié)構(gòu)合理，占地面積少。
6、先進(jìn)的膜保護(hù)系統(tǒng)，在設(shè)備關(guān)機(jī)，淡化水可自動將膜面污染物沖洗干凈，延長膜壽命。
7、系統(tǒng)無易損部件，無須大量維修，運(yùn)行長期有效。
8、設(shè)備設(shè)計有膜清洗系統(tǒng)用阻垢系統(tǒng)。
萊特萊德專注于水處理技術(shù)十余年，積累了豐富的水處理經(jīng)驗(yàn)。系統(tǒng)中水箱均設(shè)有液控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人職守，同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較，集成電路用超純水設(shè)備具有更高的性價比和設(shè)備可靠性。
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